規(guī)格

LIP 481 V

LIP 481 U

適用范圍

高真空，高達(dá)10–7毫巴

超高真空，高達(dá)10–11毫巴

測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)*

線(xiàn)膨脹系數(shù)

玻璃上的Diadur相位光柵或Zerodur玻璃陶瓷

玻璃：αTherm8·10–6 K–1；Zerodur玻璃陶瓷：αTherm0（0±0.1）x 10–6 K–1

精度等級(jí)*

± 1 µm, ± 0.5 µm

位置誤差

在一個(gè)信號(hào)周期內(nèi)

± 0.02 µm

測(cè)量長(zhǎng)度ml*in mm

70 120 170 220 270 320 370 420

參考標(biāo)記

一個(gè)在測(cè)量長(zhǎng)度的中點(diǎn)

輸出信號(hào)

  1 VPP

信號(hào)周期

2 µm

截止頻率–3 dB

≥ 300 kHz

橫移速度

36 m/min

電源

電流消耗

5 V DC ± 5%

< 190 mA

電氣連接

D-Sub連接器（公）15針，接口電子元件集成在連接器中

外殼引線(xiàn)*（見(jiàn)第4頁(yè)）

• •無(wú)（真空接口電子設(shè)備）
  •高真空兼容（真空外的接口電子設(shè)備）

D SUB（不包括在交付中，真空外部的接口電子設(shè)備）

掃描頭至APE的電纜長(zhǎng)度*

• •0.5 m或1 m
  •0.5 m或1 m至外殼引線(xiàn)，0.5 m至APE

距離外殼0.5 m或1 m，穿過(guò)外殼，距離APE 0.5 m

其他電纜長(zhǎng)度，但掃描頭和APE之間小于等于3 m

APE后電纜長(zhǎng)度

≤ 20 m (帶海德漢電纜)

振動(dòng)55至2000赫茲

沖擊11毫秒

≤ 200 m/s2 (EN 60 068-2-6)

≤ 500 m/s2 (EN 60 068-2-27)

工作溫度

0 °C to 40 °C

烘烤溫度

100 °C

120 °C

材料

PCB：陶瓷

粘合劑：超高壓兼容，耐高溫

重量掃描頭

連接器

規(guī)模

連接電纜

50 g (無(wú)電纜)

32 g, 集成接口電子設(shè)備: 140 g

5.6 g + 0.2 g/mm 測(cè)量長(zhǎng)度

38 g/m

*訂購(gòu)時(shí)請(qǐng)選擇